スプレーコータ
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A09／KT-109 |
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| 装置名 | スプレーコータ Photoresist Spray Coater |
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| 製造社名 | ウシオ電機(株) (https://www.ushio.co.jp/jp/index.html) |
| 品名・型番 | マイクロマシン/MEMS用スプレーコーター USC-2000ST |
| 特徴 | 凹凸のある基板表面に同じ厚みでレジストを塗布する |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| Work | Φ4～6″(塗布領域 □4″) |
| Photoresist Supplying Method | 2 liquid mixture spray method |
| Control Method | Mass flow method |
| Workstage | XYZ stage with temperature control(25-80℃) |