レジスト塗布装置
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A08／KT-108 |
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| 装置名 | レジスト塗布装置 Photoresist Spin Coater |
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| 製造社名 | (株)カナメックス (https://www.kanamex.co.jp/) |
| 品名・型番 | ウエハスピンコータ KRC-150CBU |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 対応基板サイズ | Φ2～6″ □4～5″ |
| 制御方式 | シーケンサコントロール 20レシピ30ステップ (回転数、加減速時間、処理時間、etc) |
| 標準機能 | レジストディスペンスアーム×1 スピン乾燥(MAX 5000rpm) ウエハセンタリング治具付き |