厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A07／KT-107 |
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| 装置名 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 Advanced Spin Coater |
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| 製造社名 | ズース・マイクロテック(株) (https://www.suss.com/jp) |
| 品名・型番 | DELTA80 T3/VP SPEC-KU |
| 特徴 | 汎用性に優れた最大6″スピンコータシステム |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板サイズ | Φ6″ウエハ Φ4″ウエハ 小片基板 |
| 溶媒 | ポジ型／ネガ型フォトレジスト ポリイミド ＳＯＧ ほか |
| スピン回転数 | 10～5,000rpm |
| スピン欠陥低減機構 | GYRSET方式 |
| レジストディスペンス | タンク圧送式（粘度：10-400cP） （粘度：800-4000cP） シリンジ圧送式（粘度：10-600cP） |
| ソルベントリンス | パドルリンス エッジビードリムーバ バックサイドリンス ほか |
| 付属品 | ホットプレート（温度：60-250℃） ベーパープライマ（HMDS） |