紫外線露光装置
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A06／KT-106 |
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| 装置名 | 紫外線露光装置 Contact Mask Aligner |
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| 製造社名 | ミカサ(株) (http://www.opticoat.co.jp/) |
| 品名・型番 | マスクアライナー MA-10 |
| 特徴 | Φ4インチまでの不定形試料に対応する実験用マスクアライナ |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 露光光源 | 高圧UVランプ250W(〜10mW/㎠)、ghi線 |
| 露光用タイマー | 0～999.9秒 タイマーセット式 |
| マニプレーター移動範囲 | X・Y:±5mm 微動1/8mm1回転θ:70°微動±7° Z:3mm 微動0.16mm |
| 十字ステージ移動範囲 | X・Y:±20mm |
| マスクサイズ | 5インチ角、2.5インチ角 |
| 試料サイズ | MAXΦ4インチ |
| 試料厚 | MAX2mm |