露光装置（ステッパー）
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A02／KT-102 |
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| 装置名 | 露光装置（ステッパー） i-line Stepper |
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| 製造社名 | (株)ニコン (https://www.tec.nikon.com/) |
| 品名・型番 | 縮小投影型露光装置 NSR-2205i11D |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 解像度 | 0.35μmLS |
| 加速電圧 | 0.63、0.57、輪帯、Shrink |
| 露光光源 | i線(365nm) |
| 縮小倍率 | 1/5倍 |
| 露光範囲 | □22～17.9×25.2mm |
| 総合アライメント精度(EGA,|x|＋3σ) | 70nm以下 |
| アライメントシステム | LSA,FIA |
| 対応基板サイズ | Φ6(他は相談) |
| ガラス等透明基板対応 |