京都大学 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点

京都大学 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ 京都大学 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ 京都大学 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ 京都大学 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ

ナノテクノロジーハブについて

 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点(ナノハブ)では、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の「マルチマテリアル化・次世代高分子マテリアル重要技術領域」のハブ機関として、また最先端・最新鋭の加工・デバイスプロセス(吉田・桂キャンパス)と計測・分析(宇治キャンパス)の設備を保有し、経験豊富な専門技術職員を擁する実施機関として、産官学の多様な研究開発者を支援しています。これまで蓄積された設備共用インフラの提供に加え、マテリアル革新力の強化に貢献するデータ共用インフラの構築にも取り組んでいます。

ナノテクノロジーハブについて
加工・デバイスプロセス
【吉田キャンパス・桂キャンパス】
計測・分析
【宇治キャンパス】

装置一覧

大面積超高速電子線描画装置

A15

大面積超高速電子線描画装置
Large Area and Ultra-High Speed Electron Beam Lithography 詳しくはこちら
マスクレス露光装置

A21

マスクレス露光装置
Advanced Maskless Aligner 詳しくはこちら
原⼦層堆積装置

B38

原⼦層堆積装置
Atomic Layer Deposition 詳しくはこちら
UVナノインプリント装置

B39

UVナノインプリント装置
UV-based Nanoimprint Lithography System 詳しくはこちら
モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡

D03

モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡
Monochromated Atomic Resolution Analytical Electron Microscope 詳しくはこちら
デュアルビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)

D08

デュアルビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)
Dual Beam FIB-SEM 詳しくはこちら
装置一覧